Afyon Kocatepe Üniversitesi Fen ve Mühendislik Bilimleri Dergisi, cilt.14, ss.467-469, 2014 (Hakemli Dergi)
Kalay oksit (SnO2), sıklıkla kullanılan ve geniş yelpazede araştırma alanı bulabilen yarı iletken bir metaloksittir. SnO2 ince filmler şeklinde gaz sensörleri, güneş pilleri gibi birçok alanda uygulama
bulabilmektedir. SnO2 ince filmler gaz sensörleri olarak mükemmel performans göstermektedir. SnO2
ince filmlerin üretimi için birçok teknik olmasına rağmen, basit, ucuz ve istenilen film kalınlığının kolayca
kontrol edilebilmesinden dolayı genellikle magnetron saçtırma cihazı kullanılmaktadır. SnO2 ince
filmlerin kararlılığı ve benzer üretim proseslerinin sürdürülebilirliği, magnetron prosesinde kullanılan
hedef malzemenin kalitesine bağlıdır. SnO2 tozlar pellet haline getirilerek hedef malzeme
üretilmektedir. Tozların büyük çapta üretimi için sol-jel yöntemi uygun ve kolay bir yöntemdir. Üretilen
tozlara bağlayıcı katılarak, sıcak isostatik presleme (HIP) yapılır ve sinterlenir. Böylece tozlar kullanılacak
hadef malzeme çapında pellet haline getirilmiş olur. Kararlı SnO2 ince film üretmek için bu tozların
saflığı, yoğunluğu ve ortalama tane çapı önem arz etmektedir. Bu çalışmada, SnO2 tozlar sol-jel yöntemi
ile üretilmiş ve bunların ortalama boyut dağılımı ve karakterizasyonu partikül boyut ölçüm ve X-Işınları
difraktometresi (XRD) cihazları kullanılarak analiz edilmiştir.
Tin oxide (SnO2) is semiconductor metal-oxide which is frequently used and able to finds search field in
a wide range. SnO2 has been found applications in several fields like gas sensors and solar cells as thin
films. The SnO2 thin films have excellent performance as a gas sensors. Although there are many
methods for production of SnO2 thin film, magnetron sputtering device is usually used because of its
simple, inexpensive and easy to be controlled for the desired film thickness. The stability of SnO2 of thin
film and similar sustainability of production processes depend on used target materials. Target
materials are produced from SnO2 powders in form of pellets. By adding binder material to the
produced powders, the target materials are performed and sintered by using hot isostatic pressing
(HIP). Thus the powders are made into pellets that diameter of the target will be used. Purity, density
and average grain size of SnO2 powders are important in order to produce stable SnO2 thin film. In this
study, SnO2 powders were produced by sol–gel technique and their particle size d,stribution and
characterization were analyzed using particle size measurement and X-ray diffraction (XRD) machines.